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精密空調施工例(国立天文台 原子時計室)

±1/10℃の精密空調技術

±0.1℃の温度コントロールをするには、冷却コイルと再加熱ヒーターを的確に制御する必要があります。散水露点方式で行う場合には、冷却水をPID制御することで充分実現が可能となります。
またある程度の熱負荷が見込まれる場合には、室内負荷の変動に素早く対応するため直接膨張方式を採用しますが、その場合でもパルスコンバーターなどを冷却能力の制御も不可欠となります。
三次元測定室、精密天びん室、高精度測定室、原子時計室など幅広くご利用いただけます。


露光機などにも最適な超精密空調

吹き出し温度測定結果

±1/100℃の精密空調技術

±0.01℃の温度コントロールでは再加熱ヒーターを的確に制御はもちろん、冷却コイルの能力制御が最大の鍵となります。
当社では独自の技術により、より精密な冷却コイルの能力制御に成功しました。冷却コイルのみでも充分な温度管理が可能ですが、再加熱ヒーターをより高精度で制御する事で、±1/100℃の温度制御を実現しています。
露光機(ステッパー)、平面度測定室、レーザー干渉計測定室など、より精密に高度な条件を必要とする場所で活躍しています。

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