クリーンルームについて

クリーンルームについてのご質問

クリーンルームの規格はどうなっているの?
A 工業用クリーンルームの場合、日本では一般的にアメリカ合衆国連邦規格(Fed.Std.)
  が使われています。この他にもJIS規格、ISO規格があります。
  またバイオクリーンルーにも対象ごとに様々な規格があります。
クラス1,000ってなんですか?
A アメリカ合衆国連邦規格(Fed.Std.209D)に規定されている清浄度の表し方です。
  クラス1,000と言った場合、1立方フィート当たり0.5μm以上の大きさの粒子が
  1,000個以下の場合を指します。
清浄度はどうやって測定するの?
A パーティクルカウンターという専用の機械で測定します。これは機械内に基準量の空気を吸込み、
  レーザーを用いて光学的にカウントする方法で測定します。
標準的なクリーンルームの条件とは?
A 清浄度に関してはクラス1,000から100,000くらいとなります。最近ではクラス10,000レベルのクリーンルームを設置して、
  必要な部分だけクリーンブースなどで局所的に清浄度を上げる方式を採る場合が多いようです。
  また温度は20℃~23℃、湿度は50%Rh前後で静電気の発生が少ない範囲が多いです。
HEPAフィルターとは?
A High Efficiency Particulate Air Filter の略で、主にクラス1,000~100,000レベルのクリーンルームで使用します。
  0.3μmの粒子に対して99.97%以上の補修率をもつ高性能フィルターです。
ULPAフィルターとは?
A Ultra Low Penetoration Air Filter の略で、主にクラス1~100レベルのクリーンルームで使用します。
  0.15μmの粒子に対して99.999%以上の補修率をもつ超高性能フィルターです。
中性能フィルター(MEPA)とは?
A Medium Efficiency Particulate Air Filter の略で、主に空調系の外気処理に使用されています。
  色法試験(JIS B 9908)で95%から65%の補修効率をもっています。HEPAやULPAの保護フィルターとしても用いられています。

差圧ダンパーの役割は?
A 通常のクリーンルームでは塵埃の進入防止に室内を陽圧(正圧)にするため、
  外気を導入して加圧する必要があります。クリーンルームを適正圧に保つため、
  余分な空気を排出してするのが差圧ダンパー(リリーフダンパー)です。
クリーンルームを設計する時に大切なものは何ですか?
A 室内の温湿度や清浄度の他に、内部発熱、室内人員、局所排気などが空調の能力に
  影響します。
  また作業内容に合せた人や物の導線なども考慮したレイアウトが必要となります。
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