工業用クリーンルームについて

工業用クリーンルームとは

主に空気中に浮遊する塵埃を対象にしたのが工業用クリーンルーム(Industrial Clean Room)となります。
工業用途を目的にしており、半導体製造・検査工程、液晶パネルやプラズマパネルの各工程、精密機械化工など、微細な塵埃が製品に重大な影響を及ぼす工程で必要とされています。この他にも、以上のような工程で使用される各種装置の製造工場などでもクリーンルームが求めれています。
また近年では、単に塵埃を捕集対象するだけではなく、製品に悪影響を及ぼす有害物質(アウトガス)なども対象とされてきています。

  • 露光工程用クリーンルーム
    施工例
  • クラス100,000レベル
    ラインフロー式 施工例
  • クラス10,000レベル
    コンベンショナルフロー式 施工例
  • クラス1,000レベル
    コンベンショナルフロー式 施工例
  • クラス100レベル
    全面層流式 施工例
  • クラス10,000レベル
    定番の上のみを層流とした
    ソックダクト式 施工例


工業用クリーンルームの規格

クリーンルームには様々な規格があります。日本で一般的に使われているのは合衆国連邦規格(Federal Standard)です。クラス1,000とか10,000と呼ばれているもので、1立方フィート当りの0.5μmの粒子の数を基準としています。実はすでに旧規格となっているのですが、日本ではいまだにこの規格が一般的となっています。
以下、主に用いられている規格をご紹介いたします。

アメリカ合衆国連邦規格(清浄度の規格)


日本 JIS規格(日本の清浄度の規格)


世界標準化機構 ISO規格(清浄度のISO規格)

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