クリーンルーム

クリーンルームの4原則

一般的に言われているクリーンルームの4原則とは

  • 外部の塵埃・細菌・汚染物質などをクリーンルーム内に持ち込まない
  • クリーンルーム内で埃やゴミの発生を極力抑える
  • クリーンルーム内部に汚染物質などを留めない
  • クリーンルーム内の塵埃・汚染物質は速やかに排除する

クリーンルームを正しく運用するためには、この4原則を守り定期的に管理していく必要があります。

クリーンルームの方式

目的に合せた方式を選定

クリーンルームには様々な方式があります。そこで目的に合せて気流方式も空調方式を選定していく必要があります。代表的なクリーンルームのシステムをイラストで説明してみます。


乱流方式(コンベンショナル方式)

最も一般的な方式で、半導体から食品まで、空調設備として幅広く採用されています
天井にフィルターボックスを配置して、HEPAフィルターを通った空気を室内に送り出します。各フィルターボックスの吹出口は拡散パンチングとなっていて、そこから四方に清浄な空気を吹き出します。室内の空気は、壁面下方部の吸込口より空調機に送られ、ダクトを通して再びフィルターボッ クスへと循環していきます。清浄度クラス 1,000~100,000 に対応します。

垂直層流方式(ダウンフロー方式)

半導体や液晶ディスプレイの露光工程など、特に高い清浄度が求められる空調設備で採用されています。
HEPAフィルターを通った清浄空気を天井全面から室内に送り込み、グレーチング下に吸込ませます。塵埃や発塵物質が床下に吸込まれるため清浄度の分布も大変良好で、ルーム内のどの場所でも安定して高い清浄度を得る事が出来ます。 清浄度クラス 1~100 に対応します。

水平層流方式(クロスフロー方式)

塵埃の発生する作業空間に適した空調システムです。
片方の壁面に HEPAフィルターを配置して、反対側の壁面で吸込む方式です。上流付近では極めて高い清浄が維持できるため、局所的にクリーン化したいときに適しています。ただ設置コスト・ランニングコスト共に高いうえに、上流と下流で清浄度の差が大きくなるのが欠点となります。清浄度クラス 10~100 に対応します。

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